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氣相沉積爐設(shè)備組成
發(fā)布時(shí)間:2017-11-23   瀏覽:3343次

  氣相沉積爐整體結(jié)構(gòu)采用井式碳化爐結(jié)構(gòu)。主要由爐體系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、進(jìn)氣系統(tǒng)、過濾系統(tǒng)、操作平臺(tái)等部分組成組成。

  氣相沉積爐系統(tǒng)主要由爐蓋、爐體、爐底、保溫層、發(fā)熱體、引電體組成,爐殼為圓柱形結(jié)構(gòu),分爐體和爐頂蓋、爐底三部分,主要使用Q235鋼材,爐體、爐蓋、爐底均為夾層水冷結(jié)構(gòu),夾層內(nèi)設(shè)置蛇形導(dǎo)流板,既可以引導(dǎo)水流流向又可以加強(qiáng)爐體壁抗壓能力,爐體上設(shè)置電極座、測(cè)溫座。抽氣口位于爐頂蓋或爐體側(cè)壁上。

  加熱及保溫層,發(fā)熱體采用帶式合金發(fā)熱體,分三個(gè)加熱區(qū),三角形加熱,分布在爐腔四周;保溫層:采用全纖維爐襯復(fù)合保溫結(jié)構(gòu),既可以讓爐膛整潔成型又可以保持良好的保溫性能,成型后的保溫層分別固定在爐壁、爐蓋上,操作與維護(hù)非常方便。

  氣相沉積爐的爐膽采用高溫耐熱鋼,為保證高溫真空下的工作強(qiáng)度,采用雙真空結(jié)構(gòu)。爐膽內(nèi)外同時(shí)抽真空,并設(shè)置手動(dòng)及自動(dòng)壓差閥。考慮真空放電現(xiàn)象,采用低電壓大電流的供電方式。


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真空石墨煅燒爐的選材與制造工藝研究

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真空石墨煅燒爐的選材與制造工藝研究在石墨材料加工與制備領(lǐng)域,真空石墨煅燒爐作為核心設(shè)備,其選材與制造工藝直接關(guān)系到設(shè)備的性能、使用壽命以及石墨產(chǎn)品的質(zhì)量。真空石墨煅燒爐廠家洛陽八佳電氣將從真空石墨煅燒爐的選材原則、關(guān)鍵部件材料選擇以及制造工藝研究三個(gè)方面進(jìn)行深入探討。一、選材原則真空石墨煅燒爐的選材需遵循以下原則:耐高溫性:由于煅燒過程中需達(dá)到高溫環(huán)境,所選材料必須具備良好的耐高溫性能,確保在高溫下不變形、不熔化,保持設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。化學(xué)穩(wěn)定性:石墨材料在高溫下可能與某些物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng),因此所選材料需具備良好的化學(xué)穩(wěn)定性,以抵抗高溫下的腐蝕和氧化。導(dǎo)熱性:良好的導(dǎo)熱性能有助于熱量在爐內(nèi)均勻分布,提高煅燒效率。同時(shí),也能有效防止局部過熱導(dǎo)致的設(shè)備損壞。機(jī)械強(qiáng)度:真空石墨煅燒爐在工作過程中會(huì)受到一定的機(jī)械應(yīng)力,所選材料需具備足夠的機(jī)械強(qiáng)度,以承受這些應(yīng)力,避免設(shè)備變形或損壞。成本效益:在保證性能的前提下,還需考慮材料的成本效益,選擇性價(jià)比高的材料,以降低生產(chǎn)成本。二、關(guān)鍵部件材料選擇爐體材料:爐體是真空石墨煅燒爐的主體部分,需承受高溫和真空環(huán)境。因此,爐體材料通常采用高純度石墨或耐高溫合金鋼。高純度石墨具有良好的耐高溫性和導(dǎo)熱性,而耐高溫合金鋼則具有較高的機(jī)械強(qiáng)度和耐腐蝕性。加熱元件:加熱元件是煅燒過程中的關(guān)鍵部件,直接影響煅燒效率和溫度控制精度。常見的加熱元件有電阻絲、石墨電極等。電阻絲具有加熱速度快、溫度控制精確等優(yōu)點(diǎn);石墨電極則具有良好的耐高溫性和導(dǎo)電性,適用于高溫環(huán)境下的加熱。真空系統(tǒng)材料:真空系統(tǒng)包括真空泵、真空管道和真空閥門等部件。這些部件需具備良好的密封性和耐腐蝕性,以確保爐內(nèi)的高真空度。材料上常選用不銹鋼或耐腐蝕合金材料。保溫材料:保溫材料用于減少爐體熱量散失,提高熱效率。常見的保溫材料有硅酸鋁纖維、巖棉等。這些材料具有良好的保溫性能和耐高溫性。三、制造工藝研究真空石墨煅燒爐的制造工藝需綜合考慮材料特性、設(shè)備結(jié)構(gòu)和生產(chǎn)工藝要求。以下是一些關(guān)鍵制造工藝的研究:爐體制造工藝:爐體制造需經(jīng)過精密加工和高溫處理。首先,根據(jù)設(shè)計(jì)要求選擇合適的材料并進(jìn)行切割、焊接等加工;然后,對(duì)爐體進(jìn)行高溫?zé)Y(jié)處理,以提高其耐高溫性和機(jī)械強(qiáng)度;最后,對(duì)爐體進(jìn)行精密打磨和拋光處理,確保表面光滑無缺陷。加熱元件安裝工藝:加熱元件的安裝需確保其與爐體緊密接觸且分布均勻。在安裝過程中,需采用專用夾具和定位裝置來確保加熱元件的準(zhǔn)確安裝;同時(shí),還需對(duì)加熱元件進(jìn)行電阻測(cè)試和溫度校準(zhǔn),以確保其加熱效果和溫度控制精度。真空系統(tǒng)密封工藝:真空系統(tǒng)的密封性能對(duì)爐內(nèi)真空度至關(guān)重要。在制造過程中,需采用高質(zhì)量的密封材料和先進(jìn)的密封技術(shù)來確保真空系統(tǒng)的密封性。例如,采用金屬密封墊或O型圈等密封元件來提高密封性能;同時(shí),還需對(duì)真空管道和閥門進(jìn)行嚴(yán)格的密封性測(cè)試和檢漏處理。整體組裝與調(diào)試:在完成各部件的制造和加工后,需進(jìn)行整體組裝和調(diào)試工作。組裝過程中需確保各部件之間的連接緊密且穩(wěn)固;調(diào)試過程中則需對(duì)設(shè)備的各項(xiàng)性能指標(biāo)進(jìn)行測(cè)試和校準(zhǔn),以確保設(shè)備能夠正常運(yùn)行并滿足生產(chǎn)要求。綜上所述,真空石墨煅燒爐的選材與制造工藝研究是一個(gè)復(fù)雜而細(xì)致的過程。通過科學(xué)合理的選材和精細(xì)的制造工藝研究,可以確保真空石墨煅燒爐具備良好的性能和使用壽命,為石墨材料的加工與制備提供有力保障。

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