氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢　　氣相沉積爐主要用于半導體元器件及電力整流裝置的燒結工藝，可進行真空燒結、氣體保護燒結及常規燒結，是半導體專用設備系列中新穎的技術裝備，設計思路新穎，操作方便，結構緊湊，一臺設備即可完成多個工藝流程。也可用于其他領域的真空熱處理、真空釬焊等工藝，那么下面一起了解下爐子的使用必備技巧吧!　　氣相沉積爐在抽真空后氫氣保護的情況下，利用中頻感應加熱原理，使位于盤管內的鎢坩堝達到高溫，通過熱輻射傳導到工作中，適用于科研、軍工部門對鎢、鉬及其合金粉末進行成型燒結。安裝爐子的場地應符合真空衛生要求，周圍空氣清潔干燥，通風條件好，工作場所不易揚起灰塵等。它的日常使用方法：　　1、檢查控制柜內所有零部件及部件是否完好、完好。　　2、控制柜安裝固定在相應的基礎上。　　3、查看接線圖，參考電路圖，連接外接主回路和控制回路，可靠接地，保證接線無誤。　　4、檢查電器活動部位活動自如，無卡死現象。　　5、絕緣電阻不應小于2萬億歐姆。　　6、氣相沉積爐各閥門必須在關閉位置。　　7、控制電源開關置于斷開位置。　　8、手動調壓旋鈕逆時針轉動頭。　　9、將報警按鈕置于打開位置。　　10、平面圖完成設備循環冷卻水連接時，建議用戶在氣相沉積爐總進出水管處再加一層備用水(可用自來水)，防止循環水故障或斷電引起密封圈燃燒。

　　真空燒結爐的主要功能和特點：　　1、加熱元件均勻的散布在圓形或方形氧化鋁爐膛內，散布合理，溫場均勻性好，可抽真空，真空度可達0.05mPa以下，并能通入多種維護氣氛；　　2、爐膛選用進口氧化鋁多晶纖維材料，保溫性能好，經用，拉伸強度高，無雜球，純度高，節能效果顯著優于國內纖維材料；　　3、加熱元件的發熱溫度：　　1）加熱元件選用高電阻優質合金絲0Cr27Al7Mo2，發熱溫度可達1300℃；　　2）加熱元件選用優質硅碳棒，發熱溫度可達1450℃；　　3）加熱元件選用優質硅鉬棒，發熱溫度可達1850℃；　　4、爐門選用循環水冷體系，可有用保證整體的密封性；　　5、可以預抽真空并能通氨分解氣、氬氣、氮氣等氣體，爐內設有充氣超壓防爆體系；　　6、可以預設多條加熱曲線，分配給不同的燒結材料，需求時直接調用，互不煩擾，無需重復批改溫度參數；　　7、裝備進口壓力傳感器，過壓自動泄壓維護，操作安全可靠；　　8、預留了485轉化接口，可通過我司專用軟件，與計算機互聯，可完成單臺或許多臺電爐、實時、歷史記錄、輸出報表等功能；　　9、超溫報警并斷電，漏電維護，操作安全可靠。